微細加工
Micro
Fabrication

CO₂レーザ加工事例

概要

CO2レーザは炭酸ガス(二酸化炭素)の中に放電を起こさせて励起し、発振させるレーザです。
非常に励起効率が良く、また容易に大出力を得ることができるのがこのレーザの特徴です。
そのためCO2レーザは最も産業利用されているレーザの一つです。

ラージウィンドウ加工

CO₂レーザの波長領域では、銅層の表面でレーザ光が反射されるため、加工が困難です。
そのため、予め穴形成周辺の銅層のみ、エッチング除去してから加工を行うラージウィンドウ加工を行っています。

銅ダイレクトBVH加工

高密度化、高微細化の要求が多くなると、パターンと照射位置のズレが大きな弊害となっていました。
そこで、銅箔を直接レーザで加工する銅ダイレクトBVH加工を採用しています。
レーザ光の吸収率を高めるため、銅層の表面にレーザ吸収層を設けて、銅層の加工を行えるようにしています。

銅ダイレクト多層貫通加工

従来は、コアキオ一層の貫通のところを、レーザ加工機の性能向上と加工条件の最適化で、4層積層板貫通も可能となりました。

シリコーンゴム加工

UV-YAGでは加工できないシリコーンゴムをCO₂レーザで加工しました。
電子部品用の材料でなくとも加工可能なケースがあります。

市販品両面テープへの外形加工

補強板の形状に合わせて、個別に貼り付け可能となる両面テープを精度良く加工できます。

大径コンフォーマル加工

コンフォーマル径650µmを加工しています。
加工機ビーム径ではカバーできないので、データを多点配置して均一な仕上がりとしています。

まとめ

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  • ビアメカニクス社製CO2レーザ加工機