微細加工
Micro
Fabrication

高ピークパワーでの加工により、従来は困難であった熱に弱い材質等の加工が可能です。

概要

極短パルスレーザの特性である高ピークパワーでの加工(アブレーション加工)により、従来は困難であった熱に弱い材質等の加工が可能になります。

特徴

広く一般的に使用されているレーザ加工機の問題点として、CO2レーザは赤外光で加工するため、「熱に弱い材料」や「熱を良く伝える材料」の加工を、またUV-YAGレーザは「UV光の吸収を持たない材料」の加工など、苦手とする加工対象物がありました。
フェムト秒グリーンレーザは、非熱加工、アブレーション加工であることから、それらの弱点をカバーした加工が可能となりました。

  • PTFEシート

  • Niめっき

  • セラミック

  • 無アルカリガラス

  • ESI社製グリーンフェムト加工機