分析・故障解析
Analysis
分析・故障解析

X線光電子分光法(XPS)を用いた分析 事例①

ウエハの表面分析

【報告書見本(ウエハ)はこちら】

  • 定性分析:ワイドスキャンスペクトル

  • 定量分析:ナロースキャンスペクトル

  • 深さ方向分析:デプスプロファイル

PET:ポリエチレンテレフタレートの表面分析

【報告書見本(PET)はこちら】

  • ワイドスキャンスペクトル

  • ★C1sのナロースキャンスペクトル

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