機器一覧 DEVICE LIST

• ラマン分光光度計
• プラズマFIB
  プラズマFIB-SEMの加工　〜分析性能と実例〜
• FE-SEM/EBSD
  【新規導入】高分解能観察と分析機能の両立を実現したFE-SEM（新型ハイスピードEBSD追加） 【修正前】EBSD（電子線後方散乱回折法）を利用した結晶解析 わずか数分の高速動作、高感度、低ノイズを兼ね備えたEBSD検出器を導入しました。
• 超音波顕微鏡
  超音波顕微鏡（原理と特長） 非破壊解析技術 3D-CSAM 非破壊解析技術　C-SAM（2D〜3D）
• ロックイン発熱解析
  ロックイン発熱解析装置「ELITE」
• X線CT観察装置
  X線CTを使った非破壊解析【STEP/STLファイル作成にも対応】
• X線透過観察装置
  X線透過観察（不良箇所の早期発見）
• 反り・変形計測システム
  試料に生じる反りやうねり、粗さの分析および測定
• SEM/SEM-EDS
• SEM/SEM-EDS
  EDS（エネルギー分散型Ｘ線分光法）による元素分析