分析・故障解析
Analysis
分析・故障解析

わずか数分の高速動作、高感度、低ノイズを兼ね備えたEBSD検出器を導入しました。

従来のEBSDと比較して約20倍のスピードでEBSDイメージ作成

必要な解像度はそのままに、高速動作でEBSD分析が可能です。
特急案件にも対応可能ですので、お待たせすることなくイメージマップのご提供が可能となります。
性能は、対称性が低いサンプル、マルチフェーズ、変形構造を含む幅広い範囲の材料にまで及びます。
材料分析に必要なデータ品質で、実サンプルにおいても高速のデータ収集ができます。
※EBSDとは、こちらをご覧ください。

従来型との結果比較

●従来型EBSD Camera
試料:Cu線
加速電圧:15kV
Scan Area:185 x 283mm、Step Size:1.0mm
測定時間:約40分
●新型Velocity(TM) EBSD Camera
試料:Cu線
加速電圧:15kV
Scan Area:185 x 283mm、Step Size:1.0mm
測定時間:約2.5分
※新型の方が、Gainを上げてもノイズに強い結果となりました。
(画像内の黒色部位をご参照ください。)
下図左:従来型 右:新型

主な仕様

●Velocity(TM) EBSD Camera
・ハイスピード, 低ノイズのCMOS センサー使用のVision Research社製カメラを採用
・CMOSセンサー解像度:640 x 480
・超高感度専用レンズの採用
・4,500 点/秒の測定を実現(120×120 binning / High Speed モード 使用時)
※弊社ではSU7000(日立ハイテク製)でのサービスご提供となります。

  • FE-SEM(2)/EBSD