分析・故障解析
Analysis
分析・故障解析

酸化膜厚測定

SERA法の特徴

・薄膜酸化膜厚、薄膜金属膜厚、金属間化合物層、有機保護膜厚(OSP)が容易かつ正確に測定できます。
・酸化膜を種類別に測定することが可能です。(例えばCu2OとCuO)
・測定時間が短い。(最大1000秒)

SERA法での測定可能金属

・酸化膜厚:Sn, Ag, Cu, SnAgCu
・金属膜厚:Au, Cu, Ni, Ag, Sn
・その他:OSP膜厚

ランドの酸化膜厚とはんだ付け性

試験方法:Pbフリーレベラー基板にソルダーペーストを印刷し、リフロー後のはんだ広がり面積を測定した。上記操作の前に基板をリフロー(1回および3回)し、加熱処理とした。
試験結果
1.加熱処理により酸化膜厚が増し、はんだの広がり面積が減少。
2.熱処理を繰り返すことで、SnO2の増加が顕著に認められた。