微細加工
Micro
Fabrication

レーザ加工室内にイエロークリーンブースを導入しました

より高品位の加工実現に貢献します

製品の品質を左右する要因である「ほこり」を除去することで、加工環境の清浄度をアップしました。
ブース上部に取り付けた高性能フィルタにより、清浄化された空気を充填。清浄度はクラス1,000で管理しています。
またクリーンブース内の紫外線遮断をするために、UVカット帯電防止カーテン・窓フィルムで囲い、UVカット蛍光灯を導入しております。
■クリーンブースの仕様
・クリーン度クラス:1,000
・エアシャワー完備
■紫外線対策
・UVカット蛍光灯
・UVカット帯電防止カーテン
・UVカット窓フィルム

フェムト秒グリーン・レーザの特徴

■1フェムト秒は1fsと記載し、1×10-15秒、つまり1000兆分の1秒のことです。光は1秒間に約30万km(地球7周半の距離)も進むほどの速さですが、1フェムト秒の間に光が進む距離は約0.3μm程度です。
■フェムト秒レーザは従来のナノ秒レーザとは異なり、パルス幅が電子-フォノン結合時間(数ピコ秒)よりも短いです。
■エネルギーが被加工物内部へ熱拡散する前に融点を超える温度に加熱され蒸発が起こる為、レーザ光照射部はアブレーションが起こり除去されます。(被加工物への熱伝導による損失過程を無視できます)
■そのためフェムト秒レーザでの加工は非熱的加工となり、被加工物に対して熱影響の少ない(無い)加工が可能となります。

ナノ秒レーザ(UV)とフェムト秒レーザ(GREEN)の比較

■極端パルスによるコールド・アブレーション効果で、バリ・スミアの少ない高品位の加工が可能です。
■高品質が求められる医療製品・半導体・車載製品の加工にも活用されています。

設備紹介

LodeStone esi製
【パネルサイズ】533mm×635mm
【加工精度】±20μm
【最大加工速度】500mm/sec
【ガルバノ】2,000points/sec