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硬く脆い材料の断面研磨

  • 素材・材料
  • 2014/08/07

セラミック基板の研磨方法

従来のSiC研磨紙では、砥粒の硬度などが問題となり、セラミック基板をスムーズに削り込む事が出来ません。このため、断面に研磨段差が発生してしまい、良好な観察を阻害してしまいます。クオルテックでは、より硬度の大きいダイヤモンド研磨紙を使用した、最適な研磨方法の検討を行いました。

セラミック基板の研磨方法 検証結果

セラミック基板の研磨方法 検証結果

シリコンチップの研磨方法

従来の条件では、シリコンチップ上にチッピングが頻発してしまいます。クオルテックでは研磨紙の砥粒径と回転数の関係を見直し、荒めの砥粒の使用を中止し回転速度を落とすことで、シリコンのチッピング防止に成功しました。

シリコンチップの研磨方法

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