クオルテック

受託分析、故障解析、信頼性評価から研究開発まで
トータルクオリティソリューションの「クオルテック」


クオルテック > 事例紹介 > 断面研磨 > CP加工(イオンミリング)による超精密試料を、お手頃価格でご提供。

事例紹介

  • 断面研磨2015/03/20

CP加工(イオンミリング)による超精密試料を、お手頃価格でご提供。

背景

走査電子顕微鏡による数千倍以上の断面観察や、EDS及びWDS等による微小調査のニーズが高まりつつある昨今。イオンミリング法に基づいた断面加工装置「CP(クロスセクションポリッシャ)」は、機械研磨では難しかった高分子や金属、複合材料など様々な試料で歪みのない断面が作製できます。硬いものと柔らかいものが混在している複合材料でも、材料による影響を最小限に抑え、綺麗な断面が作製可能です。また、無応力で加工できることにより歪みがなく、試料の結晶構造を壊さず、積層形状、結晶状態、異物断面の解析の前処理装置として最適です。

CP加工(イオンミリング)による超精密試料を、お手頃価格でご提供。

イオンミリングの原理

集束していないブロードなアルゴンイオンビームを試料に照射し、試料原子を弾き飛ばすスパッタリング現象を利用して試料を削ることを言います。電子顕微鏡の試料作製の場合、予備的に薄くした試料の表面すれすれにアルゴンイオンビームを入射させ、透過電子顕微鏡用の薄膜試料を作ります。

CP加工(イオンミリング)による超精密試料を、お手頃価格でご提供。

イオンミリングによる断面研磨(CP加工)について

断面観察を希望する位置に遮蔽板の端部を置き、Ar+イオンを試料に照射。遮蔽板から突き出した試料部分がスパッタリングされ、遮蔽板端面位置の試料断面が露出します。高分子、金属、セラミックなどあらゆる材料の断面作製が可能です。イオンミリングに基づく断面を行うことで、機械研磨のように砥粒や溶媒などの影響を受けず、硬質・軟質の混在する複合材や積層材にも、精細な断面作製が可能。無応力な加工なため、試料へ歪みを与えず結晶構造を維持できます。微細なボイドに対して、欠けやダレなく断面作製でき、結晶性試料では、明瞭な結晶方位が得られます。

CP加工(イオンミリング)による超精密試料を、お手頃価格でご提供。

機械研磨とイオンミリングのSEM画像比較

右図は、機械研磨とCP加工(イオンミリング)で各々研磨した後に、合金層をSEMにて1万倍で撮影し比較した画像です。比べると見え方の違いが一目瞭然です。このように、機械研磨による断面研磨作製では潰れてしまい観察しにくい合金層の境界が、イオンミリングだとはっきりと分かれて観察できます。このように、1万倍以上での観察や分析を行う際にはイオンミリング加工が適しています。特にめっき合金層の測長や微細なボイド・クラックの観察には、傷やダレの無いCP加工をお勧めします。

CP加工(イオンミリング)による超精密試料を、お手頃価格でご提供。

イオンミリング法によるCuの断面研磨事例

右図は、Cuをクロスセクションポリッシャ装置による断面イオンミリングにて加工し、SEMで500倍で撮影したものです。断面イオンミリング法によって、チャネリングコントラストで結晶が綺麗に分かります。

CP加工(イオンミリング)による超精密試料を、お手頃価格でご提供。

CP加工による断面試料の用途

結晶性材料の観察(EBSD分析)
電子顕微鏡(SEM)による合金層生成部の観察
EDS元素分析の前処理
FIB加工の前処理
硬さの異なる積層構造物の断面観察

CP加工(イオンミリング)による超精密試料を、お手頃価格でご提供。

まとめ

「CP(クロスセクションポリッシャ)」加工は、材料による影響を最小限に抑えた無応力加工。試料の結晶構造を壊さず、積層形状、結晶状態、異物断面などEBSD解析の前処理として最適です。弊社では、高品質なCP加工試料をお手頃な価格でご提供。お客様のご希望納期を実現するため、24時間体制を敷いております。

標準価格
加工箇所1面あたり¥18,000~(前処理¥4,500/加工 CP加工¥13,500/面) ※特殊な前処理については別途相談。 ※CP加工1面につき、加工時間が8時間を超える場合は、¥1,500/時間の延長料金がかかります。 ※すべて税抜価格。
  • 事業内容に関するお問い合わせ
  • 各センターの見学をご依頼の方

一覧へ戻る


PAGETOP


本社・分析センター 大阪府堺市堺区三宝町
4丁231-1
TEL:072-226-7175
FAX:072-226-7176
レーザ加工・表面処理実験室 大阪府堺市堺区三宝町
4丁230番地
TEL:072-226-7175
FAX:072-226-7176
研磨センター 大阪府堺市堺区三宝町
4丁231番地
TEL:072-282-6646
FAX:072-282-6648
PC試験装置開発室 大阪府堺市堺区鉄砲町
32-1
TEL:072-275-7711
FAX:072-275-7500
信頼性試験センター 大阪府堺市西区築港新町
3丁27-6
TEL:072-245-1668
FAX:072-339-4208
名古屋品質技術センター 愛知県豊明市西川町笹原
28-8
TEL:0562-57-3477
FAX:0562-57-3476
東京営業所/東京テクニカルラボ 東京都大田区大森南
3丁目12-1
TEL:03-6423-2031
FAX:03-6423-2032