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事例紹介

  • 微細加工2018/11/12

フェムト秒レーザ加工

フェムト秒レーザの特長

■1フェムト秒は1fsと記載し、1×10-15秒、つまり1000兆分の1秒のことです。光は1秒間に約30万km(地球7周半の距離)も進むほどの速さですが、1フェムト秒の間に光が進む距離は約0.3μm程度です。

■フェムト秒レーザは従来のナノ秒レーザとは異なり、パルス幅が電子-フォノン結合時間(数ピコ秒)よりも短いです。

■エネルギーが被加工物内部へ熱拡散する前に融点を超える温度に加熱され蒸発が起こる為、レーザ光照射部はアブレーションが起こり除去されます。(被加工物への熱伝導による損失過程を無視できます)

■そのためフェムト秒レーザでの加工は非熱的加工となり、被加工物に対して熱影響の少ない(無い)加工が可能となります。

フェムト秒レーザ加工

ナノ秒レーザ(UV)とフェムト秒レーザ(GREEN)の比較

■条件を揃えた加工であっても、パルス幅の違いにより
加工状態に顕著な差が見られます。

材料:銅板
(加工条件)
 出力:1.500W
 周波数:250kHz
 ビーム送り:1.00μm

フェムト秒レーザ加工

レーザ粗化

■PMMA
フェムト秒レーザが非熱的加工である特徴を生かし、難めっき材料に対して微細構造を付与する事により、めっきの密着強度を上げる事に成功しました。

フェムト秒レーザ加工

設備紹介

LodeStone esi製
【パネルサイズ】533mm×635mm
【加工精度】±20μm
【最大加工速度】500mm/sec
【ガルバノ】2,000points/sec

フェムト秒レーザ加工

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