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事例紹介

  • 微細加工2020/06/19

フェムト秒グリーン・レーザ加工機を増設

フェムト秒レーザの特長

■1フェムト秒は1fsと記載し、1×10-15秒、つまり1000兆分の1秒のことです。光は1秒間に約30万km(地球7周半の距離)も進むほどの速さですが、1フェムト秒の間に光が進む距離は約0.3μm程度です。

■フェムト秒レーザは従来のナノ秒レーザとは異なり、パルス幅が電子-フォノン結合時間(数ピコ秒)よりも短いです。

■エネルギーが被加工物内部へ熱拡散する前に融点を超える温度に加熱され蒸発が起こる為、レーザ光照射部はアブレーションが起こり除去されます。(被加工物への熱伝導による損失過程を無視できます)

■そのためフェムト秒レーザでの加工は非熱的加工となり、被加工物に対して熱影響の少ない(無い)加工が可能となります。

フェムト秒グリーン・レーザ加工機を増設

ナノ秒レーザ(UV)とフェムト秒レーザ(GREEN)の比較

■極端パルスによるコールド・アブレーション効果で、
バリ・スミアの少ない高品位の加工が可能です。
高品質の加工が求められる車載・医療等の製品にも
活用されています。

フェムト秒グリーン・レーザ加工機を増設

レーザ粗化

■アブレーションによる表面改質により、
これまで難めっき材とされてきた材料に対して
ダイレクト配線めっきが可能となりました。

フェムト秒グリーン・レーザ加工機を増設

設備紹介

LodeStone esi製
【パネルサイズ】533mm×635mm
【加工精度】±20μm
【最大加工速度】500mm/sec
【ガルバノ】2,000points/sec

フェムト秒グリーン・レーザ加工機を増設

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