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事例紹介

  • 分析・故障解析2017/11/02

XPS・AES複合機

概要

SEM/EDS分析では難しかった試料最表面数ナノメートルの厚み領域における元素分析・化学状態分析が可能となります。

特徴

● 試料最表面の分析が可能(情報深さ0.5~6nm)
● XPS:有機・無機の表面分析/化学状態分析(X線)
● AES:無機の微小部(<100nm)元素分析(電子線)

実際の分析時と同じX線で励起された光電子像を用いるため、正確な分析位置の特定・確認を短時間で行なうことができます。

XPS・AES複合機

事例紹介

《はんだ濡れ不良の解析例》
はんだが正常に濡れたものとはじきが見られたもので、表面の元素組成が異なっていることをXPSで確認。


その他の観察事例はこちらをご覧下さい▼
XPS・AES解析事例および設備概要(PDF)

XPS・AES複合機

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