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事例紹介

  • 分析・故障解析2016/03/01

X線CT(高分解能)

概 要

 CTとはComputed Tomographyの省略で、コンピュータ断面撮影法と呼ばれており物体を走査(scan)することからX線CTスキャンと呼ばれています。
特徴としては、物体をさまざまな方向からX線で撮影し、再構成処理を行うことにより、物体の内部構造を得ることができます。異なる材料で構成された物質の場合だけでなく、同じ物質であっても密度の違いよりその差を計測することができます。
材料内部の破壊や劣化を非破壊で評価することが可能な分析装置です。
また同一試料の内部変化を継続的に観察していく場合にも極めて有用です。

分析原理・特 長

 工業用X線CTでは、サンプルを回転させ、X線を全方位から照射します。サンプルを通過する際、X線エネルギーが対象に一部吸収されて減衰した後、線源の反対側に位置するX線検出装置に到達し記録されます。
 それぞれの方向でどの程度吸収されたかを記録したのち、コンピュータで画像をフーリエ変換して再構成することで、3D画像化して検査することができます。

X線CT(高分解能)

分析用途

 連続断層写真を撮影することで、異常箇所が「どこから、どのように変化しているのか?」を追うことができます。
また、それらを3D画像化することで、「どこで、何が起こっているか?」を視覚的にイメージしやすくなります。
断線箇所、部品クラック、多層基板内部の異常層を特定する際に有効です。

X線CT(高分解能)

主な観察対象

半導体、電子部品
パワーデバイス、パワーモジュール
新素材、新材料、ライフサイエンス
手術器具、注射針などの医療器具
マイクロシステム、MEMS、MOEMS
2次電池、射出成型品、
小型鋳造品、複合精密部品など

X線CT(高分解能)

設備紹介

・YXLON FF20CT
最大管電圧: 190kV
最大出力: 64W
認識解像度: ≦0.6μm
最大サンプルサイズ(φ×h) : 150×300mm
最大サンプル重量: 20kg
ナノフォーカスからマイクロフォーカス、
64Wハイパワーモードまでをソフトの切り替えで撮影可能としております。
ヘリカルCTにより長さのある対象物も観察可能
・YXLON Y.Cheetah
最大管電圧: 160kV
最大出力: 64W
認識解像度: <0.5μm
最大サンプルサイズ(φ×h) : 800×500mm
最大幾何学倍率: 3,000×
開放管式のマイクロフォーカスX線管搭載により透視画像を数千倍の幾何学的拡大率で観察可能

X線CT(高分解能)

各種観察例

・はんだクラック 破壊検査を実施しなくても、不良箇所を確認することが可能となります。
・半導体 チップ、フレーム、ワイヤーボンディングの状態を鮮明に観察する事が可能。

X線CT(高分解能)

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