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事例紹介

  • 分析・故障解析2019/04/08

【新規導入】高分解能観察と分析機能の両立を実現したFE-SEM(6月新型ハイスピードEBSD追加)

多彩なイメージング能力を持つショットキー型FE-SEM

広視野全体像から表面微細構造まで、短い時間で多くの情報を取得できるFE-SEMを導入しました。
表面微細構造、組成、結晶学的情報、形状情報など多彩なイメージング能力を装備。
複数の二次電子信号や反射電子信号が同時に取得でき、
これまでより短い時間で多くの情報を得られるようになりました。

ショットキーエミッター搭載電子銃による最大200 nAの照射電流は、各種マイクロアナリシスに対応。
電流値が高いため、分析能力も強化されています。

★本年6月には、新型のハイスピードEBSDによる解析オプションを追加します。
詳しい内容をご希望の方は、下記からお問い合わせ下さい。

【新規導入】高分解能観察と分析機能の両立を実現したFE-SEM(6月新型ハイスピードEBSD追加)

UD/MD/LDの各検出器での同時取得データ事例

UD/MD/LD※の各検出器での同一条件観察結果です。(加速電圧:1 kV)
UDでは表面微細形状が、MDでは表面の有機物被覆状態が、LDでは観察対象の全体的な凹凸情報がそれぞれ同時に取得できます。
同じ条件下での観察において、情報取得の最大化を図ることができます。


UD(Upper Detector)=上方検出器
MD(Middle Detector)=中間検出器
LD(Lower Detector)=下方検出器

【新規導入】高分解能観察と分析機能の両立を実現したFE-SEM(6月新型ハイスピードEBSD追加)

大型試料室を採用し、磁場キャンセラー・耐震台も装備

試料室は最大径200 mm、高さは最大80 mmサイズの試料を挿入できます。
また、ステージはXY/135×100 mmの大型タイプで重量は最大2kgまで搭載可能。
例えば、6inchのウエハーなど大型の試料でも素早く測定できる大型試料室で、多種多様な観察・分析に対応します。
さらに磁場キャンセラー・耐震台を備え、20万倍の高倍率観察も可能です。

【新規導入】高分解能観察と分析機能の両立を実現したFE-SEM(6月新型ハイスピードEBSD追加)

製品仕様

【製品名】
HITACHI製SU7000
【電子源】
ZrO/Wショットキータイプエミッター
【二次電子分解能】
0.8 nm(加速電圧 15 kV)
0.9 nm(加速電圧 1 kV)
【加速電圧】
0.1~30 kV
【倍率】
20~2,000,000倍(装置スペック)
【照射電流量】
最大200 nA
【試料ステージ】
X/Y/Z : 135 x 100 x 40 (mm)

【新規導入】高分解能観察と分析機能の両立を実現したFE-SEM(6月新型ハイスピードEBSD追加)

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